磁控濺射鍍膜設(shè)備在目前的很多領(lǐng)域都有使用到,其根據(jù)科學(xué)的發(fā)展需要越來越壯大,在鍍膜行業(yè)中是不可缺少的設(shè)備之一。
那么對(duì)于磁控濺射鍍膜設(shè)備原理又是怎么樣的呢?很多人可能都不知道。這里,小編來給大家來解析一下。
磁控濺射指的是粒子轟擊固體表面,讓固體分子離開固體,從表面射出的現(xiàn)象。濺射鍍膜是指使用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應(yīng),使得靶材原子或分子從固體表面射出,在基片上沉積形成薄膜的過程。磁控濺射是在輝光放電的兩極之間引入磁場(chǎng),電子受電場(chǎng)加速作用的同時(shí)受到磁場(chǎng)的束縛作用,運(yùn)動(dòng)軌跡成擺線,增加了電子和帶電粒子以及氣體分子相碰撞的幾率,提高了氣體的離化率,降低了工作氣壓,而Ar+ 離子在高壓電場(chǎng)加速作用下,與靶材撞擊并釋放能量,使靶材表面的靶原子逸出靶材飛向基板,并沉積在基板上形成薄膜。
CCZK-SF磁控濺射鍍膜設(shè)備
磁控濺射技術(shù)由于其顯著的優(yōu)點(diǎn)成為工業(yè)鍍膜主要技術(shù)之一。這也成為了眾多鍍膜企業(yè)所選擇吃空濺射鍍膜設(shè)備的原因。
上一篇:淺析直流磁控濺射鍍膜 下一篇:磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)發(fā)展