科技的不斷研發(fā),讓行業(yè)內(nèi)的制造工藝水平也在不斷完善。相比過去的疑難雜癥,隨著時(shí)間的遷移,已經(jīng)慢慢得到解決。同時(shí),越來越多的產(chǎn)品隨著人們需求的增多,在科技進(jìn)步的基礎(chǔ)上研發(fā)誕生。而今天我們所要講的就是離子鍍膜機(jī)。
離子鍍膜機(jī)的原理其實(shí)就是在真空室內(nèi)利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時(shí),將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來,不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量,而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其優(yōu)點(diǎn)是薄膜附著力強(qiáng),繞射性好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離子鍍?cè)?,起工作過程是:先將真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高壓電源,在蒸發(fā)源與基片之間建立一個(gè)低壓氣體放電的低溫等離子區(qū)?;姌O接上5KV直流負(fù)高壓,從而形成輝光放電陰極。輝光放電區(qū)產(chǎn)生的惰性氣體離子進(jìn)入陰極暗區(qū)被電場(chǎng)加速并轟擊基片表面,對(duì)其進(jìn)行清洗。然后進(jìn)入鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子進(jìn)入等離子區(qū),與惰性氣體離子及電子發(fā)生碰撞,少部分產(chǎn)生離化。離化后的離子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表面,致使膜層質(zhì)量得到改善。
CCZK-ION多弧離子真空鍍膜機(jī)
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